民國100年7月

本所奉准設立「精密製造科技研究所博士班」，同年成立精密製造科技研究所博士班籌備小組。

民國101年8月

本所開始招生，招收各大專院校研究所畢業生，修業四年畢業。

民國106年12月

本所奉准設立「智慧機械與智慧製造產業博士學位學程」，同年成立精密製造科技研究所產博班(博士班)籌備小組。

民國108年8月

本所「智慧機械與智慧製造產業博士學位學程」開始招生，招收各大專院校研究所畢業生，修業四年畢業。